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    蓝宝石基氮化铝

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    摇摆曲线半峰宽

    XRD(0002)<0.05°

    生长面表面粗糙度

    Ra<1.2nm(200nm)

    大幅提升UVC LED

    产品良率和稳定性

    提升产品品质

    确保产品稳定性

    凯发k8国际制备的高质量AlN on Sapphire(蓝宝石基氮化铝),XRD(0002)摇摆曲线半峰宽<0.05°,生长面表面粗糙度Ra<1.2nm(氮化铝厚度200nm),不仅实现了产品质量的有效管控,大幅度提升产品品质,确保产品稳定性,还大大降低了产品成本和生产周期。经客户验证表明,凯发k8国际的高品质AlN on Sapphire能够大幅提升UVC LED产品良率和稳定性,助力产品性能提升。


    氮化铝是极具应用潜力的超宽禁带半导体材料,具有很多优良的性质,如其禁带宽度高达6.2eV,同时具有高击穿场强、高饱和电子迁移率、高化学和热稳定性,及高导热、抗辐射等优异性能,因此氮化铝是紫外/深紫外LED、紫外LD最佳衬底材料,也是高功率、高频电子器件理想衬底材料。此外,氮化铝具有优良的压电性、高的声表面波传播速度和较高的机电耦合系数,是GHz级声表面波器件的优选压电材料。

     

    氮化铝的优势

    • 直接带隙,禁带宽度6.2eV,是重要的深紫外和紫外发光材料

    • 高击穿电场强度、高热导率、高绝缘性、低介电常数、低热膨胀系数、机械性能好、耐腐蚀,常用于高温高频高功率器件

    • 非常好的压电性能(特别是沿C轴方向),是现在制备各种传感器、驱动器以及滤波器的最佳材料之一

    • 与GaN晶体有非常接近的晶格常数和热膨胀系数,是异质外延生长GaN基光电器件的优选衬底材料

     

    氮化铝具备优异的物理性能:

    • 原子间以共价键相结合,化学稳定性好、熔点高;

    • 机械强度高、电绝缘性能佳,是一种压电和介电材料;

    • 晶体薄膜硬度高,可作为耐磨涂层;

    • 高电阻率、较低的漏电流以及大的击穿场强,使得其成为微电子器件中绝缘埋层材料的最佳选择之一;

    • 制备工艺与CMOS兼容,可以和其他器件集成到同一芯片上;

    • 具备非铁电材料中最好的声波传播速度,且拥有无与伦比的压电响应,可用于制作高性能的声表器件;

    • 是一种宽禁带材料,并具有直接带隙,是重要的蓝光和紫外发光材料;

    • 沿c轴取向具有非常好的压电性和声表面波高速传播性能,传声速度快,是所有无机非铁性压电材料中最高的。


    蓝宝石基氮化铝(AlN on sapphire-002)


    基底材料(Substrate):430-440μm Sap(002)(可定制)

    尺寸(inch):2、4……可定制

    AlN外延厚度(Thickness):5~200nm,可定制

    晶面取向(Orientation):c-aixs [0001]

    表面粗糙度(nm)(5x5μm):Ra < 1.2nm (200nm)

    HRXRD半高宽@(0002):<0.05°

    翘曲度(Warp):<30μm

    弯曲度(Bow):-10 ~15μm

    包装(Packaging):单片/多片晶圆盒


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